德国EVOCHEM蒸发材料技术综述

德国EVOCHEM蒸发材料技术综述

在物理气相沉积（PVD）领域，材料的选择对薄膜性能有关键影响，德国EVOCHEM Advanced Materials GmbH的产品为此提供了多种选择。

德国EVOCHEM Advanced Materials GmbH是一家致力于高纯材料与薄膜材料研发与生产的德国企业。该公司为全球研发与工业生产领域提供多种蒸发材料、溅射靶材及PVD相关耗材。

其产品线涵盖纯金属、氧化物、氟化物等多种材料，用于光学镀膜、微电子、半导体等多个领域。

01 品牌与产品概述

EVOCHEM Advanced Materials GmbH是一家位于德国的生产商，专注于高纯材料与薄膜沉积材料。

该公司为物理气相沉积（PVD）技术提供多种产品，其产品组合涵盖各种蒸发材料、高效溅射靶材、晶体监测仪、蒸发线圈以及PVD耗材（如坩埚、舟和细丝）。

公司提供纯金属和超纯金属产品，其纯度范围从99.00%至99.999999%。这些材料可用于光学涂层、耐磨装饰涂层、微电子、半导体、光学数据存储、显示器和太阳能电池等领域。

02 产品类型与型号

EVOCHEM提供多种形态的蒸发材料，包括 颗粒、片剂、线材、箔、片材、棒材、管材和靶材 等，以满足不同沉积工艺的需求。

主要产品类型

EVOCHEM的产品范围主要包括以下类型：

Ø 纯金属：如铝、锑、硼、碳、铕等，纯度高达99.9999%

Ø 氧化物：用于光学镀膜等的氧化物材料

Ø 氟化物：如氟化镁等

Ø 硼化物/碳化物：用于特定要求的涂层

Ø 硫化物/硒化物：可用于光电等领域

Ø 氮化物：如氮化硅等

Ø 碲化物：用于特种薄膜沉积

Ø 定制混合物：根据客户需求定制的混合材料

Ø 疏水材料：如ETC系列超疏水涂层材料

Ø 贵金属：包括金、银等

主要产品型号

EVOCEM提供的主要产品型号包括以下：

Ø ETC-TOP：入门级疏水材料，接触角大于105°

Ø ETC-PRO：用于眼科行业的专用疏水材料

Ø ETC-PRO UV+：具有较高耐气候要求的纳米涂层材料

Ø ETC-PRO AB+：具有较高耐用性和光滑性的疏水应用材料

Ø Al（铝粒）：高纯度铝蒸发材料

Ø SiO₂（二氧化硅片）：用于光学镀膜等的氧化物蒸发材料

Ø MgF₂（氟化镁锭）：氟化物蒸发材料

Ø Ti（钛线）：钛金属蒸发材料

Ø Cr（铬粒）：铬金属蒸发材料

Ø ITO（氧化铟锡片）：用于透明导电涂层等的材料

03 技术参数与工作原理

产品介绍与技术参数

ETC-TOP疏水材料是EVOCHEM ETC产品系列中的入门级产品，具有高耐磨性和易清洁特性。其技术参数包括：

Ø 蒸发温度范围：400 - 800°C（推荐600°C）

Ø 腔室压力：<4×10⁻⁵ mbar

Ø 涂层厚度：约10至20纳米

Ø 衬底温度：AR涂层CR39玻璃60℃

Ø 存储条件：未开封时6个月，阴凉干燥条件下

Ø 涂覆后固化条件：24小时@25℃或30分钟120摄氏度

Ø 纯金属蒸发材料如铝、钛等，可提供较高的纯度（高达99.9999%），并有颗粒、线材等多种形态可选。

工作原理

EVOCHEM的蒸发材料主要用于物理气相沉积（PVD）工艺。PVD是一种沉积过程，蒸发材料在真空或低压环境中从固体源通过热蒸发或电子束轰击等方式转化为气态。

这些气态原子或分子随后以蒸汽形式传输到基板表面，并在其上冷凝形成薄膜涂层。

对于疏水材料如ETC-TOP，其作用机制是通过材料分子的一端与氧化物表面（如SiO₂）形成共价键，另一端（全氟化）则远离表面对齐，从而降低表面能，产生易于清洁的特性。

04 核心特点

EVOCHEM蒸发材料具有以下几个特点：

Ø 材料纯度选择多：产品提供从工业级到科研级的多种纯度选择（99.00% - 99.999999%），以适应不同应用场景对材料纯度的要求。

Ø 产品形态多样：根据蒸发源和设备类型，提供颗粒、片剂、线材、锭料、箔、片材、棒材、管材和靶材等多种物理形态，便于用户在不同沉积工艺中使用。

Ø 工艺稳定性：材料具有较低的喷溅特性，有利于获得低缺陷涂层。例如，ETC系列片剂的设计允许稳定和受控的涂层工艺，从而实现每次涂层运行的产量。

Ø 符合环保规范：产品符合相关立法要求，如ETC系列产品不含全氟辛烷磺酸（PFOS）和全氟辛酸（PFOA），并可提供相应的材料安全数据表(MSDS)和符合RoHS指令的证书。

05 应用领域

EVOCHEM蒸发材料的应用领域主要包括以下五个方面：

Ø 光学镀膜：用于眼镜片、相机镜头、激光镜片上的增透膜（AR涂层）、高反射膜等。ETC系列疏水材料可应用于这些光学元件的表面保护。

Ø 微电子与半导体：用于半导体元件中电极的金属镀层、集成电路中的绝缘层或介质层。高纯度金属和氧化物材料在此领域有应用。

Ø 显示技术与太阳能电池：用于薄膜太阳能电池板中功能层的制备，以及显示器中的透明导电涂层（如ITO）。

Ø 装饰与耐磨涂层：用于手机外壳、手表等消费品表面的装饰性及耐磨涂层，提高产品的美观度和耐用性。

Ø 研发与实验：各大院校、研究机构进行新材料、新工艺的探索与开发，利用EVOCHEM提供的高纯度材料和多种材料选择进行科学研究。

EVOCHEM的ETC系列疏水材料，如ETC-TOP，在光学镜片上应用时，能表现出大于105°的接触角，并具有良好的耐磨特性。

随着新材料和新工艺的涌现，对薄膜材料性能的要求也在不断提升。EVOCHEM Advanced Materials GmbH通过提供多种纯度和形态的蒸发材料，为不同领域的薄膜制备提供了选择。