德国VACOM膜片式真空传感器MEMBRAN产品系列特点与用途

标题：德国VACOM膜片式真空传感器MEMBRAN产品系列

主要产品

真空传感器

主要型号

MEMBRAN-01TORR45-C-3A-CF16R - 膜片式真空传感器

MEMBRAN-1000TORR45-C-3A-CF16R

MEMBRAN-100TORR45-C-3A-CF16R

MEMBRAN-1TORR45-C-3A-CF16R

MEMBRAN-10TORR45-C-3A-CF16R

德国VACOM膜片式真空传感器MEMBRAN产品系列产品介绍：

德国VACOM膜片式真空传感器MEMBRAN产品系列

产品介绍（以MEMBRAN-01TORR45-C-3A-CF16R为例）

该产品是一款温度调节的膜片式真空传感器，采用电容式测量原理，适用于高精度真空测量。

技术参数：

测量范围：1.3×10⁻⁵ - 1.3×10⁻¹ mbar

连接方式：CF法兰

通径：16mm

加热温度：110°C

接口：RS232和模拟信号

精度：0.15%

外形尺寸：33.8mm×145.7mm

工作原理：

通过电容式膜片测量真空压力变化，温度调节确保测量稳定性，数字和模拟接口提供多种数据输出方式。

德国VACOM膜片式真空传感器MEMBRAN产品系列优势特点

Ø 测量精度高，稳定性好

Ø 温度调节功能确保测量一致性

Ø 多种接口可选，兼容性强

Ø 结构紧凑，安装方便

Ø 符合PCS清洁度标准

德国VACOM膜片式真空传感器MEMBRAN产品系列主要应用：

德国VACOM膜片式真空传感器MEMBRAN产品系列产品。

半导体制造设备

科研实验装置

真空镀膜系统