瑞士INFICON真空计技术参数

　　企业背景
 

　　瑞士INFICON集团成立于2000年(前身为Leybold子公司)，是全球真空测量与控制领域的，持有ISO 9001:2015认证。其产品广泛应用于半导体、光伏、航天等领域，客户包括ASML、NASA等顶级机构。2023年财报显示，其真空计产品线贡献公司营收的37%。
 

　　核心技术平台
 

　　1. 压阻式真空计（Pirani原理）
 

　　代表型号：PGP-200系列
 

　　量程：1×10⁻⁴至1000 mbar
 

　　精度：±15%读数(标准型)
 

　　特点：自动温度补偿，兼容腐蚀性气体
 

　　2. 电容式薄膜真空计
 

　　代表型号：CDG025D
 

　　量程：1×10⁻⁴至2000 mbar
 

　　长期稳定性：<0.15%/年漂移
 

　　技术：陶瓷传感器抗颗粒污染
 

　　3. 电离真空计（冷阴极）
 

　　代表型号：IKR270
 

　　极限真空：5×10⁻¹¹ mbar
 

　　磁场优化：永磁体结构降低90%功耗
 

　　技术突破
 

　　智能诊断：
 

　　内置FFT算法实时监测传感器老化(EP3267121)
 

　　多协议兼容：
 

　　支持DeviceNet、PROFIBUS-DP及Modbus RTU
 

　　材料创新：
 

　　氮化铝陶瓷基板耐受HF等离子体腐蚀
 

　　行业解决方案
 

　　半导体：
 

　　蚀刻腔室压力控制(CDG025D+IKR270组合系统)
 

　　医疗灭菌：
 

　　环氧乙烷灭菌舱真空监测(PGP-216型防爆款)
 

　　航天模拟：
 

　　空间环境模拟舱级联测量(1×10⁻⁹ mbar超高真空组网)