VACOM传感器

VACOM传感器产品概览

电容式薄膜传感器的特点是压力测量精度高。在腐蚀性环境中使用传感器与在不同气体中出现不同成分时的使用一样自然。单个传感器已经覆盖了四个十年的压力范围，这意味着即使在高真空下也可以实现的压力测量。集成的 RS232 接口和模拟输出可在集成到现有系统、流程和自动决方案时实现的兼容性。

根据皮拉尼原理，热损失传感器涵盖从大气压到高真空的整个压力范围。它们适用于化学工业、真空冶金、电子束焊接和气相沉积工艺。

相对压力计

测量原理 波登管压力表 -

确定弹性管的变形

波登管在较高的压力范围内（直至大气压），作用在选择的表面上的力会导致其显着变形。由于这大约与压力成正比（胡克定律），因此其测量值可用于直接说明当前压力。

VACOM传感器在的情况下 - 例如 B. 在波登管中——金属环的变形直接转移到与校准刻度相连的指针上。在这种类型的机械压力计中，测量相对压力是因为刻度上的值（或 1 毫巴）表示大气压力。由于这可能会波动几十毫巴，因此压力测量会受到很大的系统误差。

压电

膜片真空计的测量原理- 使用压阻法确定弹性膜片的挠度

压阻式薄膜真空计可实现的精度。它们的工作方式与电容式隔膜真空计类似：压力测量基于对带有压阻元件的隔膜机械变形的测量。压电元件的电阻率随着膜片的偏转而变化，从而提供有关膜片两侧当前压差的信息。压力测定的精度通常约为满量程的 .，用的测量范围为 3 个压力十进制。

市场上可用的压电真空计的终偏转为 13 至 15 毫巴（略高于气压）。和温度稳定性以及分辨率比电容式薄膜真空计稍差，但压阻式真空计要便宜得多。

Bourdon 是一种相对压力计。因此，在显示压力时，会考虑此时存在的大气压力

VACOM膜波纹管
VACOM真空螺丝
VACOM真空阀
VACOM离子吸气泵
VACOM真空阱

VACOM过滤器
VACOM真空室

VACOM真空计

VACOM视镜